1. Standard miljøforhold: Temperatur 20 grader, relativ luftfuktighet 65 %, atmosfærisk trykk 101325 Pa.
2. Standardtilstand for gassen: Temperatur 0 grader, trykk 101325 Pa.
3. Trykk (intensitet): Hastigheten for endring av momentum av gassmolekyler som passerer gjennom et imaginært plan langs den positive normalretningen til det planet, delt på arealet til det planet; eller den normale komponenten av kraften som utøves av gassmolekyler på overflaten av beholderen, delt på overflaten.
4. Pascal (symbol: Pa): SI-enheten for trykk, 1 Pa=1 N/m².
5. Partialtrykk: Trykket til en spesifikk komponent i en gassblanding.
6. Totaltrykk: Summen av trykkene til alle komponentene i en gassblanding.
7. Vakuum: En gassformig tilstand under én atmosfæres trykk innenfor et spesifisert rom.
8. Vakuumgrad: Utbredelsen av en gass under vakuumforhold, vanligvis uttrykt som en trykkverdi.
9. Gass: Et stoff som ikke er bundet av intermolekylære krefter og fritt kan oppta ethvert rom. (Merk: I vakuumteknologi brukes ikke uttrykket "gass" strengt tatt på ikke-kondenserbare gasser og damper.)
10. Ikke-kondenserbar gass: En gass over dens kritiske temperatur, dvs. en gass som ikke kan gjøres flytende bare ved å øke trykket.
11. Damp: En gass under sin kritiske temperatur, altså en gass som kan gjøres flytende ganske enkelt ved å øke trykket.
12. Mettet damptrykk: Damptrykket til et stoff ved en gitt temperatur når dets damp og kondenserte fase er i faselikevekt.
13. Metningsgrad: Forholdet mellom damptrykk og dets mettede damptrykk.
14. Mettet damp: Damp ved en gitt temperatur hvis trykk tilsvarer det mettede damptrykket.
15. Umettet damp: Damp ved en gitt temperatur hvis trykk er mindre enn det mettede damptrykket.
16. Molekyltalltetthet (enhet: m⁻³): Antall molekyler i volumet som omgir et punkt i en gass på et gitt øyeblikk, delt på produktet.
17. Gjennomsnittlig fri bane: Avstanden et molekyl reiser i to påfølgende kollisjoner med andre gassmolekyler kalles den frie banen. Gjennomsnittet av et betydelig antall forskjellige frie veier kalles den gjennomsnittlige frie banen.
18. Kollisjonsrate: Gjennomsnittlig antall kollisjoner et molekyl (eller annen definert partikkel) opplever i forhold til andre gassmolekyler (eller andre definerte partikler) innenfor et gitt tidsintervall, delt på den tiden. Dette gjennomsnittlige antallet kollisjoner bør oppnås med et tilstrekkelig stort antall molekyler og et tilstrekkelig langt tidsintervall.
19. Volumetrisk kollisjonsrate: Gjennomsnittlig antall kollisjoner mellom gassmolekyler innenfor et romlig område rundt et spesifisert punkt innenfor et gitt tidsintervall, delt på den tiden og volumet av det romlige området. Tidsintervallet og volumet bør ikke være for lite.
20. Gassmengde: Produktet av volumet som okkuperes av en ideell gass i likevekt og dens trykk. Denne verdien må spesifisere gasstemperaturen eller konverteres til en verdi på 20 grader. (Merk: Mengden gass refererer til 2/3 av den iboende energien (eller potensielle energien) til gassen i volumet okkupert av den gassmengden.)
21. Gassdiffusjon: Bevegelsen av en gass i et annet medium på grunn av en konsentrasjonsgradient. Mediet kan være en annen gass (i hvilket tilfelle diffusjon kalles interdiffusjon) eller en kondenserbar substans.
22. Diffusjonssystem: Forholdet mellom den absolutte verdien av massestrømningshastigheten per arealenhet og normal konsentrasjonsgradient per arealenhet.
23. Viskøs strømning: En strømningstilstand der den gjennomsnittlige frie banen til gassmolekyler er mye mindre enn minste tverrsnittsstørrelsen til kanalen. Derfor avhenger strømmen av viskositeten til gassen; viskøs strømning kan være laminær eller laminær.
24. Viskositetskoeffisient: Forholdet mellom tangentiell kraft per arealenhet i retning av gasshastighetsgradienten og hastighetsgradienten.
25. Poissons strømning: Laminær-viskositetsstrøm gjennom en lang kanal med et sirkulært-tverrsnitt.
26. Mellomstrøm: Gassstrøm gjennom en ledning i en tilstand mellom laminær og molekylær strømning.
27. Molekylær strømning: Strømning der den gjennomsnittlige frie banen til gassmolekyler er mye større enn det maksimale-tverrsnittsarealet til ledningen.
28. Knuth-tall: Forholdet mellom den gjennomsnittlige frie banen til gassmolekyler og diameteren til ledningen.
29. Molekylært overløp: Strømning når gass strømmer gjennom en tynn-vegget åpning, der den gjennomsnittlige frie banen til molekylene er mye større enn åpningsstørrelsen.
30. Rømning: Gassstrøm gjennom et porøst materiale forårsaket av trykkforskjell.
31. Termisk rømning: I molekylær strømning oppstår gassstrøm mellom to sammenkoblede beholdere på grunn av temperaturforskjeller. Når gasstransporten når likevekt, dannes det en trykkgradient mellom de to beholderne.
32. Molecular Flow Rate: Forskjellen mellom antall molekyler som passerer gjennom en overflate i en gitt retning og antallet som passerer gjennom overflaten i motsatt retning innenfor et gitt tidsintervall, delt på tiden.
33. Molecular Flow Rate Density: Molekylær strømningshastighet delt på overflatearealet.
34. Massestrømningshastighet: Massen av gass som passerer gjennom et tverrsnitt innenfor et gitt tidsintervall, delt på tiden.
35. Strømningshastighet: Mengden gass som passerer gjennom et tverrsnitt innenfor et gitt tidsintervall, delt på tiden.
36. Volumetrisk strømningshastighet: Volumet av gass som passerer gjennom et tverrsnitt under gitte temperatur-, trykk- og tidsintervallforhold, delt på den tiden.
37. Antall mol gass som passerer gjennom et gitt tverrsnitt innen et gitt tidsintervall, delt på den tiden.
38. Maxwell Velocity Distribution: En hastighetsfordeling bestemt av Maxwell-Boltzmann hastighetsfordelingsfunksjon. Det vil si hastighetsfordelingen til gassmolekyler i likevekt ved en gitt temperatur og når avstanden til beholderveggen er større enn den gjennomsnittlige frie banen til molekylene.
39. Transportsannsynlighet: Sannsynligheten for at molekyler som tilfeldig kommer inn i innløpet til en kanal vil gå ut gjennom utløpet.
40. Molekylær ledningsevne: Den molekylære ledningsevnen til gass som strømmer gjennom to spesifiserte-tverrsnitt eller åpninger av et rør, uttrykt som forholdet mellom dets molekylære strømningshastighet og gjennomsnittlig molekyltallstetthetsforskjell mellom de to tverrsnittene eller åpningene i røret.
41. Konduktivitet: Under isotermiske forhold, forholdet mellom strømningshastigheten til en gass gjennom en ledning eller åpning og gjennomsnittlig trykkforskjell over to spesifiserte tverrsnitt av ledningen eller åpningen.
42. Intrinsic Conductivity: Under forhold der Maxwell-hastighetsfordelingen dominerer i en beholder, vil ledningsevnen til en ledning (eller åpning) som forbinder to slike beholdere. Under molekylære strømningsforhold er det lik produktet av innløpsledningsevnen og transportsannsynligheten.
43. Strømningsmotstand: Den gjensidige av konduktivitet.
44. Adsorpsjon: Oppfanging av gass eller damp (adsorbat) av et fast stoff eller væske (adsorbent).
45. Overflateadsorpsjon: Adsorpsjon av gass eller damp (adsorbat) på overflaten av et fast stoff eller væske (adsorbent).
46. Fysioadsorpsjon: Adsorpsjon på grunn av fysiske prosesser.
47. Kjemiadsorpsjon: Adsorpsjon på grunn av kjemiske prosesser.
48. Absorpsjon: Diffusjonen av gass eller damp (adsorbat) inn i det indre av et fast eller væske (adsorbent).
49. Tilpasningskoeffisient: Forholdet mellom den gjennomsnittlige energien som faktisk utveksles mellom en partikkel som faller inn på en overflate og overflaten og den gjennomsnittlige energien som partikkelen bør utveksle for å nå fullstendig termisk likevekt på overflaten.
50. Incident rate: Antall molekyler som faller inn på en overflate innenfor et gitt tidsintervall, delt på den tiden og overflatearealet.50. Incident rate: Antall molekyler som faller inn på en overflate innenfor et gitt tidsintervall, delt på den tiden og overflatearealet.
51. Kondensasjonshastighet: Antall molekyler (eller masse av stoff) som kondenseres på et gitt overflateareal innenfor et gitt tidsintervall, delt på den tiden og det overflatearealet.
52. Adhesjonshastighet: Antall molekyler adsorbert på en overflate innenfor et gitt tidsintervall, delt på den tiden og det overflatearealet.
53. Adhesjonssannsynlighet: Forholdet mellom adhesjonshastighet og hendelseshastighet.
54. Oppholdstid: Den gjennomsnittlige tiden et molekyl er innesperret i en adsorbert tilstand på en overflate.
55. Migrasjon: Bevegelsen av molekyler på en overflate.
56. Desorpsjon: Frigjøring av gass eller damp adsorbert av et materiale. Frigjøring kan være naturlig eller akselerert med fysiske metoder.
57. Avgassing: Den kunstige desorpsjonen av gass fra et materiale.
58. Avgassing: Den naturlige desorpsjonen av gass fra et materiale.
59. Desorpsjons-, avgassings- eller gassfjerningshastighet: Strømningshastigheten (eller molekylær strømningshastighet) av gass desorbert (eller avgasset) fra materialet innenfor et gitt tidsintervall, delt på den tiden og det overflatearealet.
60. Fordampningshastighet: Antall molekyler (eller masse av stoff) fordampet fra overflaten innenfor et gitt tidsintervall, delt på den tiden og det overflatearealet.
61. Permeasjon: Fenomenet med gass som passerer gjennom et fast barrieresjikt. Dette fenomenet inkluderer gassdiffusjon gjennom et fast stoff, og kan også inkludere andre overflatefenomener.
62. Permeabilitet: Under jevne strømningsforhold, strømningshastigheten til gass gjennom et barrierelag (som en karvegg) delt på en funksjon av trykkene på begge sider av barrierelaget. Formen på denne funksjonen avhenger av de fysiske prosessene som er involvert i selve permeasjonen.
63. Permeabilitetskoeffisient: Produktet av permeabilitet og barrierelagtykkelse, delt på det permeable overflatearealet.
Ovenstående er en oppsummering av fellesvakuumbeleggutstyrbransjevilkår. Vi håper denne informasjonen er nyttig, siden mestring av disse vilkårene er avgjørende for å komme inn i vakuumindustrien.
