Selv om det finnes mange typer ionekilder, er formålet i hovedsak det samme: online rengjøring, forbedring av energifordelingen på den belagte overflaten og modulering av energien til reaktantgassen. Ionekilder kan forbedre bindingsstyrken mellom filmen og underlaget betydelig, samtidig som de forbedrer filmens hardhet og slitasje- og korrosjonsbestandighet. For verktøysslitasjebestandige-lag, som generelt er tykkere og ikke krever høy ensartet filmtykkelse, kan ionekilder med høyere ionestrøm og energinivåer, som Hall-ionekilder eller anolytionekilder, brukes.
Anodiske ionekilder opererer etter et prinsipp som ligner på Hall-ionekilder. Et sterkt magnetisk felt påføres i en smal ringformet (rektangulær eller sirkulær) spalte, som ioniserer arbeidsgassen under påvirkning av anoden og dirigerer den mot arbeidsstykket. Anodiske ionekilder kan gjøres veldig store og lange, noe som gjør dem spesielt egnet til å belegge store arbeidsstykker, for eksempel arkitektonisk glass. De tilbyr også en relativt stor ionestrøm. Imidlertid er ionestrømmen deres mer diffus, og energinivåfordelingen er for bred. De er generelt egnet for store arbeidsstykker, glass, slipende overflater og dekorative komponenter. Imidlertid er deres anvendelse i avanserte optiske belegg ikke utbredt.
Selv om det finnes mange typer ionekilder, er formålet i hovedsak det samme: online rengjøring, forbedring av energifordelingen på den belagte overflaten og modulering av energien til reaktantgassen. Ionekilder kan forbedre bindingsstyrken mellom filmen og underlaget betydelig, samtidig som de forbedrer filmens hardhet og slitasje- og korrosjonsbestandighet. For verktøysslitasjebestandige-lag, som generelt er tykkere og ikke krever høy ensartet filmtykkelse, kan ionekilder med høyere ionestrøm og energinivåer, som Hall-ionekilder eller anolytionekilder, brukes.
Anodiske ionekilder opererer etter et prinsipp som ligner på Hall-ionekilder. Et sterkt magnetisk felt påføres i en smal ringformet (rektangulær eller sirkulær) spalte, som ioniserer arbeidsgassen under påvirkning av anoden og dirigerer den mot arbeidsstykket. Anodiske ionekilder kan gjøres veldig store og lange, noe som gjør dem spesielt egnet til å belegge store arbeidsstykker, for eksempel arkitektonisk glass. De tilbyr også en relativt stor ionestrøm. Imidlertid er ionestrømmen deres mer diffus, og energinivåfordelingen er for bred. De er generelt egnet for store arbeidsstykker, glass, slipende overflater og dekorative komponenter. Imidlertid er deres anvendelse i avanserte optiske belegg ikke utbredt.
Hall-ionekilden i envakuumbeleggmaskinioniserer prosessgassen ved hjelp av et sterkt aksialt magnetfelt. Den sterke ubalansen til dette aksiale magnetfeltet skiller gassionene og danner en ionestråle. På grunn av styrken til det aksiale magnetiske feltet, trenger Hall-ionekilde-ionestrålen ytterligere elektroner for å nøytralisere ionestrømmen. En vanlig nøytraliseringskilde er en wolframfilament (katode).
