Magnetron Sputtering -utstyr spiller en nøkkelrolle i mange felt som materiell overflatebehandling og filmforberedelse. Daglig vedlikehold er viktig for å sikre stabil drift av utstyret, forlenge levetiden og sikre kvaliteten på den sputrede filmen. Følgende vil utdype de viktigste punktene for daglig vedlikehold av magnetron -sputringutstyr.
Vakuumsystemvedlikehold
1. Vakuumpumpe Vedlikehold: Vakuumpumpen er kjernekomponenten i vakuumsystemet til magnetron -sputteringutstyret. Kontroller oljenivået til vakuumpumpen regelmessig for å sikre at oljenivået er innenfor normalområdet. Etter langvarig bruk vil ytelsen til vakuumpumpeoljen forverres på grunn av adsorpsjon av urenheter og fuktighet. Generelt må vakuumpumpeoljen byttes ut hver enkelt driftsperiode (for eksempel 2000 timer). Vær samtidig med å sjekke tettheten i vakuumpumpebeltet. Et for løst belte vil føre til at vakuumpumpehastigheten er ustabil og påvirker eksosseffektiviteten; For stramt kan akselerere slitasje på beltet. Hvis beltet viser tegn til slitasje eller aldring, bør det byttes ut i tid.
2. Vakuumrørrensing: Vakuumrøret er kanalen som forbinder vakuumpumpen og det sputtende kammeret, som er lett å absorbere støv, urenheter og partikler som genereres under sputteringsprosessen. Bruk regelmessig et dedikert vakuumrensingsverktøy for å rengjøre innsiden av røret for å fjerne festede urenheter. For deler som er vanskelige å rengjøre, kan rensing av gass brukes, men renslighet av rensegassen må sikres. I tillegg kan du sjekke tettheten til røret for å se om det er noen lekkasje. En liten lekkasje kan føre til at vakuumgraden ikke klarer å nå den ideelle tilstanden, noe som påvirker sputteringseffekten. En heliummassespektrometer lekkasjdetektor kan brukes til å oppdage lekkasjer i røret, og lekkasjer kan repareres i tide.
3. Vakuummåler Kalibrering: Vakuummåleren brukes til å måle vakuumgraden på vakuumsystemet, og dets måle nøyaktighet er direkte relatert til operatørens vurdering av utstyrets driftsstatus. Kalibrer vakuummåleren regelmessig, og det anbefales generelt å kalibrere den en gang hvert halvår eller ett år. Kalibreringsprosessen må utføres i samsvar med driftshåndboken som leveres av utstyrsprodusenten, og standard kalibreringsutstyr må brukes for å sikre at vakuumgradsdataene som er målt ved vakuummåleren er nøyaktig og pålitelig.
Sputtering målvedlikehold
1. Rengjøring av måloverflater: Under sputteringsprosessen vil sputteringsprodukter og urenheter gradvis avsette seg på måloverflaten, noe som påvirker sputringhastigheten og filmkvaliteten. Etter hver bruk av utstyret, skal måloverflaten rengjøres i tide. For metallmål kan en spesiell målrensbørste brukes til å pusse bort overflateavsetningene forsiktig; For noen mer følsomme mål, for eksempel keramiske mål, er det nødvendig med en mer skånsom rengjøringsmetode, for eksempel å tørke forsiktig med en ren myk klut dyppet i en passende mengde spesialrengjøringsmiddel. Unngå å bruke skarpe verktøy for å klø overflaten på målet for å unngå å skade målet.
2. Målinstallasjonsinspeksjon: Kontroller regelmessig installasjonen av målet for å sikre at målet er godt installert. Målet vil bli bombardert av høyhastighetsioner under sputteringsprosessen. Hvis det ikke er godt installert, kan det føre til at målet rister eller til og med faller av, noe som ikke bare vil påvirke sputteringseffekten, men også skade utstyret. Kontroller om forbindelsen mellom målet og sputtering av strømforsyningen er god. Løshet av forbindelsen kan føre til at sputteringsprosessen er ustabil og forårsaker unormale fenomener som gnisting. Hvis tilkoblingen er funnet å være løs, bør koblingsboltene strammes i tid.
3. Måling av mål for levetid: Ulike typer målmaterialer har sin spesifikke levetid. Vær nøye med på sputringstiden og sputteringseffekten av målet. Når sputringhastigheten til målet synker betydelig og filmkvaliteten svinger, kan det bety at målet er nær levetiden. Bytt ut målmaterialet i tide for å sikre stabiliteten i sputteringsprosessen og konsistensen av filmkvaliteten. Registrer samtidig brukstid og relaterte parametere for målmaterialet for å gi et grunnlag for etterfølgende målstatning og ytelsesevaluering.
Vedlikehold av elektrisk system
1. Strømforsyningsinspeksjon: Strømforsyningen til Magnetron -sputringutstyret gir energi til sputteringsprosessen, og dens stabilitet er avgjørende. Kontroller regelmessig om strømforsyningens utgangsspenning og strøm er innenfor normalområdet. Du kan bruke profesjonelle elektriske måleinstrumenter for å oppdage strømforsyningen for å sjekke om utgangsparametrene er i samsvar med utstyrsinnstillingsverdiene. Hvis utgangsspenningen eller strømmen er funnet å svinge unormalt, bør årsaken omgående undersøkes. Det kan være en feil i de interne komponentene i strømforsyningen eller et problem med linjeforbindelsen. I tillegg kan du sjekke varmeavledningen av strømforsyningen for å sikre at strømforsyningen kan forsvinne varmen normalt under drift. Strømforsyningen vil generere mye varme når du jobber lenge. Hvis varmeavledningen er dårlig, kan det forårsake skade på komponentene. Rengjør støvet på strømforsyningsradiatoren for å sikre at kjøleviften kjører normalt.
2. Elektrisk kretsvedlikehold: Kontroller om den elektriske kretsen inne i utstyret er aldring eller skadet. Etter langvarig bruk kan den elektriske kretsen ha problemer som aldring av isolasjonslaget og skaden på ledningen, som vil gi sikkerhetsfarer og påvirke normal drift av utstyret. For aldring eller skadede kretsløp funnet, bør de byttes ut i tide. Forsikre deg samtidig til at linjeforbindelsen er fast for å unngå løshet som forårsaker dårlig kontakt. Løse tilkoblingspunkter kan generere gnister under driften av utstyret, skadeutstyrskomponenter eller til og med forårsake brann. Stram skruene på linjetilkoblingspunktene regelmessig og sjekk kontakten mellom pluggen og kontakten.
3. Kontrollsystemvedlikehold: Kontrollsystemet for utstyret er ansvarlig for å overvåke og justere forskjellige parametere for sputteringsprosessen. Sikkerhetskopiere dataene i kontrollsystemet regelmessig for å forhindre tap av data. Kontroller samtidig om det er oppdateringshjul for kontrollsystemprogramvaren. Rettidige programvareoppdateringer kan fikse kjente sårbarheter og forbedre stabiliteten og funksjonen til systemet. I tillegg kan du rengjøre kontrollsystemets driftsgrensesnitt for å sikre at knappene og visningsskjermen fungerer som de skal, og operatøren kan legge inn informasjonsinformasjon informasjon nøyaktig.
Vedlikehold av kjølesystemer
1. Kjølevæskeinspeksjon: Kjølesystemet brukes til å redusere varmen som genereres av utstyret under drift. Kjølevæsken er nøkkelmediet i kjølesystemet. Kontroller kjølevæskenivået regelmessig for å sikre at nivået er innenfor normalområdet. Kjølevæskenivået vil falle på grunn av fordampning, lekkasje osv. Under langvarig bruk. For lavt nivå vil påvirke kjøleeffekten. Samtidig, sjekk kvaliteten på kjølevæsken og observer om kjølevæsken er misfarget, grumsete eller har en lukt. Hvis kjølevæsken forverres, bør det byttes ut i tide. Det anbefales generelt å erstatte kjølevæsken hvert 1-2 år. Den spesifikke erstatningssyklusen kan bestemmes i henhold til bruken av utstyret og produsentens anbefalinger.
2. Avgjørelse av kjøling: Kontroller om kjølerøret er blokkert. Innsiden av kjølerøret kan blokkeres på grunn av akkumulering av skala, urenheter osv., Som påvirker den normale strømmen av kjølevæsken. Røret kan rengjøres ved kjemisk rengjøring eller fysisk rengjøring. Kjemisk rengjøring kan bruke et spesielt rengjøringsmiddel for rør, men vær oppmerksom på konsentrasjonen av rengjøringsmiddelet og rengjøringstiden for å unngå korrosjon til røret. Fysisk rengjøring kan utføres ved skylling med høyt trykk og andre metoder. I tillegg kan du sjekke forseglingen av kjøleløret for å forhindre kjølevæskelekkasje. Hvis det finnes en lekkasje i røret, bør de skadede rørdelene repareres eller erstattes i tide.
3. Inspeksjon av kjøleutstyr: Kontroller vannpumpen, radiatoren og annet utstyr i kjølesystemet. Forsikre deg om at vannpumpen fungerer normalt. Pumpen av vannpumpen kan påvirke pumpekapasiteten på grunn av slitasje. Hvis vannpumpen viser seg å pumpe unormalt, bør vannpumpen repareres eller erstattes i tide. Kontroller om varmevasken til radiatoren er blokkert, rengjør støvet og ruskene på kjøleribbene, og sørg for at radiatoren effektivt kan spre varmen. Kontroller samtidig driften av kjølevifte for å sikre at viften kan gi kjølig luft for radiatoren normalt.
Rengjøring av utstyr og miljømessig vedlikehold
1. Rengjøring av utstyrsoverflater: Rengjør overflaten på magnetronens sputtende utstyr regelmessig for å fjerne støv, olje og andre miljøgifter. Du kan bruke en ren myk klut til å dyppe i en passende mengde vaskemiddel og tørke overflaten på utstyret forsiktig. For noen gjenstridige flekker kan du bruke en rengjøringsmiddel med spesialutstyr, men vær forsiktig med å unngå vaskemiddelet fra å komme inn på innsiden av utstyret. Etter rengjøring, tørk overflaten på utstyret med en ren klut for å holde utseendet på utstyret rent.
2. Rent arbeidsmiljø: Utstyrets arbeidsmiljø har også en viktig innvirkning på dets ytelse og liv. Hold arbeidsmiljøet rent, rengjør støvet regelmessig på bakken, og unngå at for mye støv kommer inn i utstyret. Kontroller temperaturen og fuktigheten i arbeidsmiljøet. Generelt er magnetron-sputringutstyr egnet for å jobbe i et miljø med en temperatur på 20-25 og en relativ fuktighet på 40%-60%. Klimaanlegg og avfuktingsutstyr kan installeres for å justere omgivelsestemperatur og fuktighet. I tillegg må du sørge for at arbeidsmiljøet er godt ventilert for å forhindre akkumulering av varme og avgass som genereres under driften av utstyret.
Kort sagt dekker det daglige vedlikeholdet av magnetron sputteringutstyr flere aspekter som vakuumsystem, sputtering mål, elektrisk system, kjølesystem, rengjøring av utstyr og miljømessig vedlikehold. Operatører bør strengt følge utstyrsprodusentens vedlikeholdshåndbok for regelmessig vedlikehold, omgående oppdage og løse potensielle problemer, for å sikre den stabile driften av utstyret, forbedre utstyrets levetid og dermed forbedre kvaliteten og produksjonseffektiviteten til den sputrede filmen.
