Magnetron sputtering utstyr er hovedsakelig sammensatt av følgende deler:
1. Målmateriale: kjernekomponenten i magnetron sputtering utstyr, vanligvis laget av metall, legering og andre materialer.
2. Vakuumkammer: Driftsmiljøet for magnetron sputtering utstyr må utføres under høye vakuumforhold, og vakuumkammeret spiller rollen som å opprettholde vakuum.
3. Magnetron -system: Magnetfeltet brukes til å kontrollere ion -bombardementet på overflaten av målmaterialet for å forårsake sputtering.
4. Substratramme: Brukes til å støtte underlagsmaterialet som skal behandles.
5. Varmesystem: I noen tilfeller må målmaterialet og underlaget varmes opp for å kontrollere sputteringsprosessen.
