Magnetron sputtende vakuumbeleggmaskin

Magnetron sputtering vakuumbeleggmaskin er en mye brukt fysisk dampavsetning (PVD) teknologi. Kjernen er å bruke magnetfelt for å begrense elektronbevegelse, noe som forbedrer sputteringseffektiviteten og filmkvaliteten betydelig.

Kjernefunksjonen er bruken av magnetiske felt for å begrense banen til elektronbevegelse, noe som forbedrer sputteringseffektiviteten og deponeringshastigheten betydelig.

Det er mye brukt i husholdningsapparater, klokker, golfhoder, kunst og håndverk, leker, billysrefleksjoner, klippeskall, instrumenter og meter, plast, glass, keramikk, fliser og andre overflatedekorative belegg og funksjonelle belegg for verktøy og former.

 

Det har fordeler innen plating ultra-svart film, ren gulldekorativ film, ledende film, etc.

Magnetfelt begrenser elektroner

Høy ioniseringshastighet, rask deponeringshastighet, høy produksjonseffektivitet

Høy sputtende rate

Avsetning med lav temperatur

Høy filmkvalitet:

Sterk vedheft, kompakthet, god komposisjonskontrollerbarhet, god ensartethet

Magnetron -sputtende vakuumbeleggmaskin oppnår høy ioniseringshastighet, høy sputringhastighet og avsetning med lav temperatur i kraft av dets kjernefunksjon i magnetfeltet begrensende elektroner.

Dette gir betydelige fordeler som høy avsetningseffektivitet, bredt anvendelsesområde av underlag (spesielt underlag med dårlig varmebestandighet), utmerket filmkvalitet (sterk vedheft, tetthet, kontrollerbar sammensetning, god enhetlighet) og sterk prosessfleksibilitet.

Disse fordelene gjør det til en av de foretrukne eller mainstream PVD-teknologiene på mange felt som optisk belegg, mikroelektronikk/halvledere, solceller, flatpanelskjermer, verktøy med harde belegg, dekorative belegg, slitasje og korrosjonsbestandige belegg og funksjonelle filmer.