Arbeidsprinsipp for multi-bu beleggmaskin

Multi-bu-beleggsmaskinen genererer plasma med høy temperatur gjennom flere lysbue-kilder (4-16), fordamper metallmaterialet og avsetter det på overflaten av underlaget for å oppnå effektivt belegg (filmtykkelse ensartet ± 5%). Kjernevakuumkammeret er delt inn i et beleggskammer (vakuumgrad mindre enn eller lik 10^-3pa) og et forbehandlingskammer. Førstnevnte sikrer et miljø med lav imperatur, og sistnevnte brukes til rengjøring og polering av underlag for å forbedre vedheftet. Nøkkelprosessparametrene inkluderer Arc-kildekraft (20-200A), underlagstemperatur (100-300 grader) og avsetningshastighet (1-10nm/s), som må justeres dynamisk i henhold til underlagsform (for eksempel komplekse buede overflater) og materiale (metall/keramikk). Det er egnet for scener som anti-refleksjonsfilm og hardt belegg med optisk linse.