Arbeidsmiljøkrav til vakuumbeleggmaskin

Vakuumbeleggmaskin refererer hovedsakelig til et belegg som må utføres under høyt vakuum, inkludert fordampning av vakuumion, magnetron -sputtering, molekylærstrålepitaksi, PLD -laser -sputtering avsetning og mange andre typer. Hovedideen er delt inn i fordamping og sputtering.
Arbeidsmiljøkrav til vakuumbeleggmaskin:
Vakuumbeleggutstyr skal fungere under vakuumforhold, så utstyret skal oppfylle kravene til vakuum for miljøet. Kravene til vakuum for miljøet inkluderer vanligvis kravene til vakuumutstyr for laboratorie (eller verksted) temperatur, luft og annet svevestøv i omgivelsene, og kravene til deler eller overflater i vakuum eller vakuum.
Disse to aspektene er nært beslektede. Det omkringliggende miljøet påvirker direkte normal bruk av vakuumutstyr; Enten vakuumkammeret eller delene som er installert i vakuumutstyret, påvirker direkte ytelsen til utstyret. Hvis det er mye vanndamp og støv i luften, er det vanskelig å oppnå den forventede vakuumgraden ved å pumpe med en oljeforseglet mekanisk pumpe uten å rengjøre vakuumkammeret. Det er velkjent at oljeforseglede mekaniske pumper ikke skal pumpe ut gasser som inneholder partikulært støv som er etsende for metaller og reaktive på vakuumolje. Vanndamp er en kondensabel gass. Når en stor mengde kondensabel gass pumpes ut, vil forurensningen av pumpeolje være mer alvorlig. Derfor vil det ultimate vakuumet til pumpen bli redusert og pumpens ytelse til pumpen vil bli svekket.
Støv i industrielle miljøer er preget av pulverrike kropper, uten tittel og støv. Pulver er et stoff i en tilstand av aggregering eller spredning av pulver eller faste partikler. Det såkalte pulveret refererer til en samling av bittesmå faste partikler, og partikler refererer til bittesmå stoffer som kan telles en etter en. Røyk er et materielt system der små partikler av fast stoff eller væske eksisterer i flytende tilstand i gassen. Stoffer i en granulær tilstand, enten det er fast eller væske, blir samlet referert til som støvpartikler. Luftrensingsstandarden bestemmes av størrelsen på støvpartikkelstørrelsen, og tilpasser dermed rent romkvalitet. Det er ikke bare aktuelt for industrisektorer med rene krav, men også for å støvsuge krav til rene miljøer.