Introduksjon til vakuumbeleggmaskin

Underlaget som skal belegges kalles underlaget, og materialet som skal belegges kalles målet. Underlaget og målet er i samme vakuumkammer.
Fordampningsbelegg varmer generelt målet slik at overflatekomponentene fordampes i form av atomgrupper eller ioner. Og den legger seg på overflaten av underlaget, og danner en tynn film gjennom filmformingsprosessen (spredte punkter-øy-struktur-vagal strukturlagde vekst). For sputtende belegg kan det ganske enkelt forstås som bombardering av målet med elektroner eller lasere med høy energi, og sputter overflatekomponentene i form av atomgrupper eller ioner, og til slutt avsetning på overflaten av underlaget, gjennomgått filmformingsprosessen, og til slutt danne en tynn film.