Det er for tiden mange metoder for å overvåke tynne filmer i vakuumbeleggingsmaskiner, hovedsakelig inkludert: visuell overvåking, overvåking av fast (ekstrem) verdi, overvåking av krystalloscillasjon og tidsovervåking. Denne artikkelen vil først og fremst introdusere tre metoder: visuell overvåking, fast (ekstrem) verdiovervåking og krystalloscillasjonsovervåking. Visuell overvåking, også kjent som direkte overvåking, bruker øynene til å overvåke filmen. Under filmvekstprosessen forårsaker interferensfenomener fargeendringer, og vi kontrollerer filmtykkelsen basert på disse fargeendringene. Denne metoden har en viss grad av feil og er lite nøyaktig, og krever erfaring.
Overvåking med fast-verdi (ekstrem-verdi): Dette bruker hovedsakelig reflekterende (transmissiv) optisk overvåking. Metode for overvåking av ekstreme-verdier: Ettersom filmtykkelsen øker, endres reflektiviteten og transmittansen tilsvarende. Når reflektiviteten eller transmittansen når et ekstremt punkt, kan den optiske tykkelsen ND av belegget bestemmes til å være et heltallsmultippel av en-fjerdedel av overvåkingsbølgelengden (λ). Imidlertid har ekstrem-verdimetoden en relativt stor feil fordi reflektiviteten eller transmittansen endres veldig sakte nær ekstremverdien; det vil si at R/T endres kun etter en betydelig økning i filmtykkelsen ND. Den mest følsomme posisjonen er på en-åttendedel av bølgelengden. Overvåkingsmetode for fast-verdi: Denne metoden bruker det faktum at stopppunktet for belegget ikke er på en-fjerdedel av overvåkingsbølgelengden. Deretter beregner datamaskinen reflektiviteten (eller transmittansen) til den totale filmtykkelsen ved bølgelengde 1, som er stopppunktet for belegget. Krystalloscillasjonsovervåking: Arbeidsprinsippet for krystalloscillasjon er basert på prinsippet om at vibrasjonsfrekvensen til en kvartskrystall er omvendt proporsjonal med massen. En ulempe med kvartsovervåking er imidlertid at når filmtykkelsen øker til et visst nivå, er ikke vibrasjonsfrekvensen helt lineært relatert til tykkelsen på grunn av egenskapene til kvartsen i seg selv. I dette tilfellet må en ny kvartsoscillator brukes.
Flere overvåkingsmetoder har hver sine fordeler og ulemper, men for flerlagsbelegg er optisk overvåking vanligvis den primære metoden, supplert med kvartskrystalloscillasjon. I tillegg, for noen prosesser som krever gassinjeksjon under belegg, er det nødvendig med strømningsmålere eller trykkmålere, som krever presise ventiler og fotoelektriske sensorsystemer for kontroll. Vakuumbeleggmaskiner krever også et rotasjonskontrollsystem, hvor paraplyens hovedaksel er plassert inne i et lager, og en motor driver lageret for å rotere paraplyen. Rotasjonshastigheten styres deretter av en PLS. Digelrotasjonen drives av en motor og bruker fotoelektrisk induksjonstelling, mens skjermingsplaten roterer ved hjelp av en pneumatisk bryter. For å akselerere pumpehastigheten og oppnå et visst vakuumnivå, må vakuumkammeret avkjøles, fryse luften inne til -130 grader Celsius og fryse og fjerne eventuell vanndamp. Den elektriske kontrollseksjonen vedtar hovedsakelig PLC-automatisk kontroll. Det forhåndsdesignede programmet legges først inn i PLS-en, og hovedkretsen til prosessoren er koblet til hvert ubelastet system på betjeningspanelet. Når bryteren på betjeningspanelet trykkes, blir informasjonen overført til sentralprosessoren, og deretter analyserer og gir det sentrale kontrollsystemet instruksjoner til grenkretsene for å utføre og fullføre handlingen.
Vakuumbeleggmaskiner er enheter som integrerer flere disipliner. De omfatter de mest avanserte elektromekaniske teknologiene, kontrollteknologier, elektrisk automasjon, IT-teknologier, kjøleteknologier, mikrokretsintegrerte systemer, høyspenningskontrollsystemer, mekaniske teknologier, prosesseringsteknologier, optoelektroniske teknologier, optiske teknologier, pneumatiske kontrollteknologier, optoelektroniske sensorteknologier, optoelektroniske{1}kommunikasjonsteknologier, opto-{1}vakuum-kommunikasjonsteknologier, tynnfilm{2} teknologier og mer. Vakuumbeleggmaskiner kan betraktes som en representant for nye industrier. I dag er vakuumbeleggmaskiner mye brukt, spesielt i produksjon av tynne filmer. De forskjellige tynne filmene som produseres brukes i ulike optoelektroniske systemer og optiske instrumenter, som digitale kameraer, digitale videokameraer, teleskoper, projektorer, energikontroll, optisk kommunikasjon, skjermteknologi, interferometre, kunstige satellitter og missiler, halvlederlasere, mikroelektromekaniske systemer, informasjonsindustrien, laserproduksjon, lysarkitektindustrien, glassindustrien, sensorer, bilindustrien, glassindustrien, dekorative gjenstander, mynter, brilleglass og mer. Malingsmaskiner har blitt tett integrert i menneskelivet.
