Hvordan fjerne støv fra vakuumbeleggmaskin

De grunnleggende kravene til lav vakuumeksos av vakuumbeleggmaskin er høyt arbeidstrykk og stort luftvolum, men kravene til pumpehastighet er ikke så gode som for høy vakuumenhet. Derfor brukes den lave vakuumets utmattelse av beleggsmaskin vanligvis som grovt vakuumkammer. Lav vakuumpumper bruker vanligvis røtpumpe, adsorpsjonspumpe for molekylær sil, oljedampstrålepumpe, dampstrålepumpe, vann ringpumpe, gjengjeldende pumpe, oljetettpumpe, etc. Disse vanlige lave vakuumpumper kan slippes direkte ut i atmosfæren bortsett fra røttene pumpe og dampstrålepumpe. Andre pumper kan slippes direkte ut i atmosfæren.
Fordelen er at den kan beskytte den mekaniske pumpen, men ulempen er at den reduserer den effektive pumpehastigheten til pumpen, øker utstyrets økonomiske budsjett og hindrer vedlikeholdet av utstyret. For tiden er det to typer støvsamlere på markedet: grov støvsamler (metallnettstøvsamler, syklonstøvsamler) og fin støvsamler (oljefilmstøvsamler og oljetåke støvsamler).
1. Grovt støvfjerning (metallnettstøvsamler)
Den grunnleggende versjonen av metallnettstøvsamler er stålflisfilter, som har en relativt enkel struktur. Det er en enkel enhet som setter metallskjærende brikker i en nettingpose. Installert ved utløpet av røret til beleggsvakuumkammeret, er det lett å ta ut og skyve. Størrelsen på denne støvsamleren er vanligvis 20-60 cm. Dets arbeidsprinsipp er å stole på den mekaniske barriereeffekten av brikken, som kan fjerne noen større partikler i støvet, og har også en viss kjøleeffekt. I den senere forbedrede metallnettstøvfjerningsenheten er en del av pumpeoljen installert i oljereservoaret, slik at det meste av støvpartiklene i luftstrømmen kan fjernes i oljen, og støvpartiklene som ikke er festet til oljeoverflaten fjernes med metallnettet.
2. Fjerning av fint støv (oljefilmstøvsamler)
Sylinderen til vakuumbeleggmaskinen er utstyrt med en multisjags metall membran med hull, og mellomgulvet er utstyrt med en metall eller keramisk ring. Sylinderen er utstyrt med en oljeinjeksjonsringdyse med en sirkulerende oljepumpe, slik at støvet kan festes til oljefilmen når luftstrømmen passerer. Det har ikke bare god støvfjerningsevne, men har også en god gasskjølingseffekt.