Vakuumbeleggmaskin Diffusjonspumpereparasjon og vedlikehold

Diffusjonspumpen er hovedkomponenten i vakuumbeleggmaskinen. For at maskinen skal fungere i god stand, er det veldig viktig å opprettholde og opprettholde diffusjonspumpen til vakuumbeleggmaskinen.
1. Kjølevannet må holdes uhindret under driften av diffusjonspumpen. Etter å ha stoppet oppvarmingen, kan kjølevannet slås av først etter at pumpens arbeidsvæske er blitt helt avkjølt.
2. Når diffusjonspumpen slutter å fungere, bør pumpen holdes i vakuumtilstand for å forhindre at pumpeoljen forverres.
3. Den pumpete gassen skal være tørr, ikke-etsende og støvfri.
4. Hvis diffusjonspumpen ikke brukes midlertidig, bør den oppbevares i vakuumtilstand under lagring for å forhindre pumpeoljeforurensning og korrosjon av forskjellige deler, og blåse bort det gjenværende vannet i den kjøle vannkakken. Romtemperaturen på stedet skal holdes mellom 10-40 grader Celsius.
5. Utførelsen av diffusjonspumpen vil gradvis forverres etter langvarig drift, og den bør sjekkes regelmessig. For eksempel: om pumpeoljen reduseres eller oksideres, tilsett olje eller erstatt den i henhold til de tilsvarende kravene; Delene og pumpekammeret blir først renset med luftfartsbensin, deretter skrubbet med aceton og plassert på 80-100 grader for å tørke eller blåst tørr med en hårføner. Etter behandlingen, sett sammen i rekkefølge, hold pumpekjernen og pumpens bunn vertikal og konsentrisk med pumpekammeret, og juster hullene mellom dysene på hvert nivå i henhold til de opprinnelige kravene.
6. Etter at vannet har fordamper, installerer du pumpekjernen, tilsett ny diffusjonspumpeolje og installerer kroppen på nytt, kobler vannrøret, installer den elektriske komfyrplaten, og deretter kan du starte maskinen på nytt.
7. Før du starter på nytt, må du være oppmerksom på lekkasjdeteksjon. Metoden er: Start vedlikeholdspumpen, lukk vakuumkammerdøren, og følg etter noen minutter om vakuumgraden er 6*100 Pa, ellers er det nødvendig med lekkasjedeteksjon for å sjekke om tetningsgummiringen mangler ved tilkoblingen eller tetningsringen er knust. Oppvarming kan utføres først etter å ha eliminert den skjulte faren for lekkasje, ellers vil diffusjonspumpeoljen brenne ut og kan ikke komme inn i arbeidstilstanden.