1. Grunnstruktur av vakuumbeleggmaskin
Vakuumbeleggmaskin er en enhet som avsetter tynn film på overflaten av underlaget ved fysiske eller kjemiske metoder under vakuummiljø. Kjernestrukturen inkluderer følgende deler:
1. Vakuumsystem: Det er sammensatt av mekanisk pumpe, molekylære pumpe, diffusjonspumpe, etc., som brukes til å pumpe beleggkammeret til et høyt vakuummiljø på 10⁻³ ~ 10⁻⁶ PA (se "Vacuum Coating Technology Manual"). For eksempel kan den mekaniske pumpen redusere trykket til 1 ~ 10 PA, og molekylpumpen kan redusere den ytterligere til under 10⁻⁴ PA.
2. Beleggskammer: Hovedkroppen er et hulrom i rustfritt stål, som er korrosjonsbestandig og har sterk tetning. Størrelsen varierer fra 0,5 m³ for små laboratorier til 5 m³ for industriell karakter (for eksempel ULVACs ARL-300-modell).
3. Fordampningskilde: Velg motstand Oppvarming, elektronstråle eller magnetron sputteringskilde i henhold til prosesskrav. For eksempel kan kraften til fordampningskilde for elektronstråle nå 10 kW, og fordampningshastigheten er omtrent 1 ~ 5 nm/s.
2. Forskjeller i sammensetningen av forskjellige typer beleggsmaskiner
1. Fysisk dampavsetning (PVD) utstyr:
- Magnetron sputtende beleggsmaskiner må utstyres med målmaterialer (for eksempel titanmål, aluminiumsmål) og magnetfeltsystemer, og arbeidsgasstrykket er vanligvis 0,1 ~ 10 Pa.
- Arcion Coating -maskiner legger til lysbue, strømmen kan nå 100 ~ 200 a, og filmadhesjonen er sterkere.
2. Kjemisk dampavsetning (CVD) utstyr:
- Reaktive gasser (for eksempel Sih₄, CH₄) må innføres, og et gasstrømningskontrollsystem er utstyrt, med en nøyaktighet på ± 1 SCCM (standard milliliter/minutt).
3. Hjelpesystemer og viktige tekniske parametere
1. Kontrollsystem: PLC eller industriell datamaskin brukes til å overvåke vakuum, temperatur (± 1 grads nøyaktighet) og filmtykkelse (målt ved kvarts krystallsvingningsmetode, nøyaktighet ± 0,1 nm) i sanntid.
2. Kjølesystem: Designstrømningshastigheten til vannkjølingsrørledningen er vanligvis 20 ~ 50 l/min for å sikre langsiktig driftsstabilitet på utstyret.
IV. Applikasjonsscenarier og utvalgsanbefalinger
1. Optisk belegg: Krever høy enhetlighet (± 1% tykkelsesavvik), og må velge en kilde til multi-Crucible elektronstråle.
2. Verktøybelegg: Fokuser på hardhet (for eksempel tinnbelegg kan nå 2000 HV), og bueplateringsutstyr er å foretrekke.
Gjennom analysen ovenfor kan brukere velge den matchende beleggmaskintypen og konfigurasjonen i henhold til faktiske behov (for eksempel filmytelse, produksjonseffektivitet).
