Ionekilden til beleggsmaskinen med flere bu er basert på kald katode vakuumbueutladning. Katodemålmaterialet har flekker som beveger seg rundt. Flekkene avgir metalldamp og ioniserer i ioner. Ionene blir avsatt på overflaten av arbeidsstykket for å danne et belegg. Arbeidsprinsippet for ionekilden til multi-bu-beleggmaskinen er å generere lysbueutladning i et vakuummiljø gjennom katodemålmaterialet for å danne et plasma med høy tetthet. Når strømmen går gjennom målmaterialet, vil det dannes små flekker på overflaten og beveger seg i høy hastighet. Disse flekkene vil fordampe og ionisere målmaterialet for å produsere metallioner. Disse ionene akselereres for å fly mot arbeidsstykket under virkningen av det elektriske feltet, og til slutt avsatt på overflaten for å danne en ensartet og tett belegg.
